氣路泄露排查從氣源泄露和內(nèi)部泄露下手

氣源泄漏檢查：

1.先切斷主機(jī)、溫度流量控制器的電源。打開(kāi)氣瓶上的主閥并將氣源分壓調(diào)節(jié)到0.4MPa。
2.將各氣源的兩級(jí)壓力調(diào)節(jié)器的分壓控制手柄返回原位，監(jiān)測(cè)分壓表，10分鐘之內(nèi)壓力應(yīng)沒(méi)有明顯下降。如果有泄漏，應(yīng)仔細(xì)檢查各氣路管線的接頭，并找出泄漏的位置。泄漏的接頭只要上緊到足以阻止泄漏即可。過(guò)緊會(huì)損壞套圈和接頭。
注意：檢測(cè)氣路是否泄漏時(shí)，應(yīng)注意不要弄潮濕任何電氣或電子部件，否則會(huì)嚴(yán)重?fù)p壞部件。
 內(nèi)部泄漏檢查：
系統(tǒng)內(nèi)部氣體連接管線在儀器發(fā)貨前都作過(guò)仔細(xì)的檢查和泄漏試驗(yàn)。如果系統(tǒng)未作任何升級(jí)改動(dòng)或維修，一般不需檢查泄漏。用戶(hù)在安裝氣路系統(tǒng)的有關(guān)部件（如石英裂解管）時(shí)，必須嚴(yán)格按照本手冊(cè)中有關(guān)章節(jié)規(guī)定的操作步驟進(jìn)行。只要正確安裝這些部件，一般不必檢查泄漏。